一、设计原理：
1．原 水：深井水或市政自来水。
2. 原水水质报告：见原水检验报告书。
3. 系统设计进水参数：
水压≥3.0kg    管路直径为：≥DN50     水通量 ：≥18吨/小时
4、系统产水参数：
一级RO出水水量≥9吨/小时　       二级 RO出水水量≥6 吨/小时
5、出水水质：
反渗透设备出水电导率≤10μS/cm，出水符合瓶（桶）装饮用纯净水卫生标准
GB/T17324-2003
6．系统配置： 预处理系统→双级反渗透系统→臭氧杀菌系统→灌装线系统
7．运行方式：全自动控制运行。
8．设计界线：从原水箱出口至灌装线。
9．其他涉及的设计基础条件将在技术讨论中确定。
10.地基要求：地基承载力≥5吨/平方。
11.废水处理：排至设备就近下水管道/地沟（用户考虑）。
12.系统要求水温：5—25度。
13.设备周围环境要求温度：5—40度。
14．设备占地面积：100—200平方米。
15．设备现场排水预埋地漏、地沟；原水进水管道及阀门；设备所需总配电柜；屋内照               明等由设备供应方设计，设备需求方按要求做到位。
16、设备所有室内地面需做自流地坪，墙面：灌装间、风淋室及更衣室按国家水厂无菌室制作要求来做，其余室内墙面只需贴瓷砖。
二、系统工艺流程：
原水→原水箱→原水增压泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→阻垢剂添加系统→5微米精密过滤器  → 一级反渗透系统→中间水箱→二级反渗透系统→臭氧杀菌系统→纯水箱→纯水供水泵→灌装线
三、主要工艺流程设备的说明：
1、 预处理部分：
预处理就是通过过滤、吸附、交换等方法使反渗透进水达到以下要求，实现以下目的：
（1）防止反渗透膜面结垢（包括CaCO3、CaSO4、SrSO4、CaF2、SiO2、铁铝氧化物等）；（2）防止胶体物质及悬浮固体微粒对反渗透膜的污堵；
（3）防止有机物质的对反渗透膜的污堵和降解；
（4） 防止微生物对反渗透膜的污堵；
（5）防止氧化性物质对反渗透膜的氧化破坏；
2、预处理系统的组成及设计原因：
（1）设计组成:原水中含有多种杂质，如悬浮物、胶体、有机物和无机物。为去除水中的悬浮物、胶体、有机物等，原水预处理部分设置有：多介质过滤器（主要滤料有粒径不同大小的净水石英砂组成）、活性炭、树脂软化罐、5微米保安滤器等装置。
（2）设计原因：预处理系统是根据原水水质报告数据分析，结合公司多年实际经验，在保证设备运行中：科学、安全可靠的前提下得出的结论。反渗透进水水质要求污染指数（SDI）≤4，浊度＜1NTU，余氯＜0.1mg/L，含量TBC＜10个/mL。水质的好坏直接影响反渗透水处理设备的可靠性与安全性。
3、预处理分项功能说明：
（1） 原水箱、原水泵：
反渗透系统要求进水合格、压力稳定，属于分批式供水。原水箱、原水泵用来提供足够的进水和压力及保证系统的运行稳定。
（说明：原水泵≧18吨/小时、压力≧3kg，两个参数必须同时满足）。
（2）多介质过滤器主要功能：
其主要作用是去除粒度大于20微米的机械杂质、经过混凝的小分子有机物和部分胶体，使出水浊度小于0.5NTU，含铁量小于0.05mg/L,  SDI≤5.
此系统设有全自动过滤阀头、厂商为美国Fleck，能根据原水水质条件来设定：
正洗和反洗的周期时间；能够彻底的把原水中颗粒性物质及泥沙下来、再
定期反冲洗把每天运行时所截留的淤泥、悬浮物等杂质排除罐外，重新恢复滤料的
功能及延长其使用寿命；有效的保证下道工序进水要求。
（3）活性炭的主要功能 ：
反渗透设备要求进水的余氯含量小于0.1mg/l，因此采用活性炭滤器脱除原水中的余氯，防止反渗透膜受到污染。同时可以进一步吸附原水中的有机物。活性炭滤器内填精制耶壳型活性炭，用于吸附原水中的余氯、有机物、部分色素和有害物质，降低化学耗氧量COD。活性炭被广泛应用于生活用水及食品工业、化工等工业用水的净化，由于活性炭的比表面积很大，其表面又布满了平均为20—30埃的微孔，因此，活性炭具有很高的吸附能力。此外，活性炭的表面有大量的羟基和羧基等官能团，可以对各种性质的有机物质进行化学吸附，以及静电引力作用，因此，活性炭还能去除水中腐殖酸、富维酸、木质磺酸等有机物质，还可去除象余氯一类对反渗透膜有害的物质，防止反渗透膜被氧化。通常能够去除63%—86%胶体物质，50%左右的铁，以及47—60%的有机物质。 活性炭脱出余氯的过程是一个简单的氧化还原过程。此过程有可能使活性炭破碎，但破碎的活性炭并不影响脱出余氯的效果，因此活性炭脱出余氯的效果非常强。

纯水设备厂家告诉我们，关于纯水设备的价格问题，在这里牵扯到一个非常重要的指数就是“电导率”。一般而言电导率，越低。水越纯净，价格也相应贵一些，现在采用的水处理工艺都是采用的反渗透系统。经过处理后的水一般能达到90%——99%的脱盐率。
统泉纯水设备简介
纯水设备纯水设备，由原水预处理部分、反渗透主机和纯水消毒储存及灌装等几部分组成。采用单元组合结构，可减少设备占地面积，便于运输及现场安装调试，具有占地面积小、安装快速、外观漂亮、操作、维修方便等优点，预处理罐体可选用玻璃钢或不锈钢材料。
纯水设备工艺系统
纯水设备原水预处理系统
1.原水泵
原水泵是为原水预处理系统提供原水压力的作用。如果原水有压力就完全可以不用这个设备。一般要求原水压力>=0.3MP
2.原水箱
原水箱的作用更简单，是储存原水用的。这是怕原水万一供不上作一个中转（通常添加浮球开关是整个系统自动化程度更高）。
3.石英砂过滤器
采用石英砂滤料以除去原水中较大颗粒的悬浮物、泥沙、杂质等，降低水的混浊度。而且还可以使水中的有机物质、、等随着浊度的降低而被大量去除，并为滤后消毒创造了良好条件。
4.活性炭过滤器
利用活性碳的吸附能力有效地吸附原水中的有机物、游离性余氯、胶体、微粒、微生物、某些金属离子及脱色等。
5.软化系统（加药系统）
利用离子树脂的交换性能，除去原水中的钙镁离子，以达到防止后继设备结生水垢的影响，但是操作起来费工，费料。现在改为加药系统直接向里添加阻垢剂。
纯水设备反渗透系统
反渗透系统是整个纯净水系统的核心部件，反渗透系统主要采用膜过滤工艺。然后水分子可以通过反渗透膜。其他一些如钙、镁、钠等离子随废水一起排掉。下面本系统的组成部件。
1.精密过滤器
主要过滤水中的大颗粒分子。
2.特种高压泵
为反渗透设备提供强劲的动力。
3.反渗透膜
反渗透膜采用的是膜过滤技术。让水分子通过其他一些离子不能通过达到净化水的目的。
3设计特点
1、通过对水的压力达到对水的深层过滤。反渗透纯水设备除了包括一般的过滤器之外，还具有精细过滤器、颗粒活性炭过滤器和压缩活性炭过滤器。精细过滤器具有比一般过滤器更精细的过滤功能，能更好地过滤水中的杂质。
2、反渗透纯水设备的核心是反渗透膜的应用。反渗透膜是一种孔径极小的过滤膜，利用这种膜可以实现对原水的超精细过滤，同时可以把水分成较高浓度和低浓度。
4设备特点
1、采用逆渗透(RO)膜净化装置(孔径万分微米)，运用国际上的逆渗透技术纯水设备工艺制备纯水。
2、多级过滤，综合发挥各级过滤器的有效作用，清除源水中的泥沙、悬浮物、胶体、有机物、重金属、可溶性固体、、、热源和其他有害杂质，仅保留水分子和溶解氧。预处理滤料采用可更换方式，可有效保证预处理效果，且更换方便，滤料价格经济，产水运行成本低。
3、采用静音高压泵，使用寿命长，运行质量可靠。
4、具有高压反冲洗功能，可有效延长滤料、RO膜寿命。
5、制水过程自动控制(源水缺水停机，储水箱水满停机)。
5结构组件
纯水设备纯水设备机架选用不锈钢制作，管道低压部分采用食品级PVC-U管材，高压部分采用不锈钢管材（小型设备也选用食品级PVC-U管材）。
6功能
纯水设备纯水设备主要功能：原水预处理部分由多介质过滤器、活性碳过滤器和软水器组成，采用便捷式多路阀控制，也可选用全自动多路阀控制，具有操作简单，清洗效果好等优点。
7食品纯水设备
反渗透(简称RO)是膜分离技术的一种。其原理是：用足够的压力使溶液中的溶剂(通常指水)通过反渗透膜分离出水，因它的运行与自然界的正常渗透过程相反，故称反渗透(或称逆渗透)。随着膜技术的发展，膜性能不断提高，反渗透技术将发展成为进行分离、分级、提纯和富集的化工分离新技术。
纯水设备，简单来说就是生产纯净水的设备。而反渗透系统作为纯净水生产的依托是非常重要的。所以要生产纯净水一定是要选择原水水质比较好的地方。如山泉、深井等。在这里牵扯到一个非常重要的指数就是“电导率”。一般而言电导率，越低。水越纯净。现在采用的水处理工艺都是采用的反渗透系统。经过处理后的水一般能达到90%——99%的脱盐率。
纯水设备工艺流程
源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→阳树脂软化器→精密过滤器→一级RO反渗透纯水系统→二级RO反渗透纯水系统→水气混合器→臭氧杀菌机→不锈钢纯水罐→ 全自动灌装线

超纯水设备系统在半导体晶片制造过程中重起到至关重要的作用。在一个生产周期内，一个晶片与超纯水的接触超过35次，在任何一个环节发生供水中断或者水质不合格都会影响晶片的质量，甚至导致产品的报废。水处理之家网认为，稳定可靠的超纯水设备系统是保障半导体晶片可持续生产的关键。
一、半导体晶片超纯水设备系统简介
本方案以半导体晶片生产用超纯水设备系统为案例，详细讲解205T/H的超大型超纯水设备系统设计特点、工艺流程、超纯水供水网管设计等。
对于原水中的各种杂质，可以选用的去除方式多种多样，每一种净化设备基于不同的净化原理，对各种杂质的去除效率各不相同，甚至某些设备在去除特定杂质的同时会引起其他杂质数值的上升。超纯水设备系统设计的过程就是在满足水质要求的前提下寻找一个投资与操作优化的净化设备组合方案的过程。不同净化设备对各种杂质的去除效率。对超纯水水质的指标要求：
二、半导体晶片超纯水设备系统设计特点
典型的超纯水设备系统流程可分为部分：预处理、初级制水、精制水。在全球水资源日益匮乏的今日，超纯水的回收再利用已经成为超纯水设备系统设计必不可缺的一部分。一般而言，经工艺机台使用的超纯水除了PH值，电导率，TOC等指标较差外，大部分指标都优于市政供水，只要有针对性地设计一些净化设备，完全可以将超过70％的超纯水供水回收再利用，达到节水环保的目的。当然，回收率越高，其设备投资及操作运行成本也越高。本系统的流程设计充分考虑到工程水质要求高，水量超过250吨小时的特点，各部分的设计兼顾经济性和可操作性，巧妙地将超纯水回收利用系统融合于制备系统。
三、半导体晶片超纯水设备系统工艺流程
自来水—加药—多介质过滤器—常压脱气塔—换热器—10μm过滤器—一级反渗透 —预处理水箱—活性炭过滤器—离子交换器—去离子水箱—紫外线杀菌灯—1μm过滤器—二级反渗透—中间水箱—去有机物紫外线—混床—0.45μm过滤器—膜脱气装置—纯水设备—冷却箱—去有机物紫外线—抛光床—超滤系统—输送管网—用水点
四、半导体晶片超纯水设备系统设计方案
预处理：
1.PAC、NaCl0加药：絮凝剂PAC有助于原水中的胶体粒子和悬浮固体凝集成易被多介质过滤器的大基团，而NaCl0具有杀菌，分解有机物的作用。
2.多介质过滤器：去除原水中经絮凝的胶体粒子和悬浮固体，可通过反冲洗再生。H，S0 加药，常压脱气塔：加H，S0 可将原水中的HC0 一生成C02在常压脱气塔中脱除，常压脱气塔是针对本工程大水量的特点而设计的，可以提高真空膜脱气的除氧效率，减少昂贵的脱气膜组的使用量。
3.热交换器：在冬季原水水温较低时使用热交换器加热反渗透进水以提高反渗透系统的除盐率，保证出水水质。
4.10 u m预过滤器：过滤颗粒杂质，保护反渗透膜。
5.一级反渗透：反渗透对除了溶解气体以外的大部分杂质都有较好的脱除效果。不同材质的反渗透膜操作条件不同，脱除杂质的效率也不同。醋酸纤维(CA)膜。醋酸纤维(CA)膜脱除率比复合(TFC)膜低，本设计用于一级反渗透，作为预处理阶段去除大量离子等杂质之用。反渗透膜需定期加药清洗以去除表面污染及结垢，保证反渗透效率并延长膜的寿命。
6.预处理水箱：储存一级反渗透产水，收集工艺机台使用过的回收纯水。
7.活性炭过滤器：表面具有无数10—10 A微孔的活性炭吸附预处理水尤其是回收纯水中的有机物，并通过反冲洗再生。
8.离子交换塔：离子交换塔包括阳离子树脂床和阴离子树脂床，主要为去除回收纯水中的各种阴阳离子，降低电导率而设计，同时可进一步纯化预处理水，保证水质离子交换树脂定时用酸碱再生后可反复使用。
初级制水：
1.去离子水箱：储存去离子水，调节和平衡预处理系统和初级制水系统的运行。
2.紫外线杀菌：波长254nm的紫外线灯可达到杀菌的作用。
3.1um过滤器：过滤颗粒杂质，保护反渗透膜。
4.二级反渗透： 采用复合(TFC)膜的二级反渗透可去除高达95％ 以上的各种离子和有机物。
5.中间水箱：储存二级反渗透产水，充普通氮气，隔绝空气，以保护水质不受污染。
6.去有机物紫外线： 波长1 85mm 的紫外线灯可分解有机物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于离子交换塔中阴阳离子树脂，混床中使用的树脂可以在较低的离子浓度下获得很好的脱除效率，混床出水电阻率已达1 7M Q．cm以上，接近超纯水电阻率要求。
8.0.45um过滤器：去除去离子水中的颗粒杂质，并捕捉水中可能带出的破碎的混床树脂微粒，以保护膜脱气装置的脱气膜不受损害。
9.膜脱气装置：加真空氮气吹扫的膜脱气装置可保证产水中溶氧达到小于lppb的要求，与早期的真空氮气吹扫的填料塔相比，具有脱气率高，占空间小，节省氮气的优点。

反渗透纯水设备用于制药机械加工用水，该设备主要采用反渗透技术和EDI技术，有效去除原水中的胶体、微生物、悬浮物、有机离子、等杂质，出水电阻率可以达到18兆欧以上，完全满足制药机械加工用水需求。
工艺设计
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
设备特点
放置位置要求：
1.系统四周应留有足够空间用以连接水管、电源和更换耗材。
2.机器请安装在靠近水源、电源和水槽的位置。
水源要求：
1.以自来水为水源的系统，要求进水压力要符合设备要求，进水管径不得小于规定尺寸。(如果压力较低将导致系统不能正常运转、如果压力较高将可能导致系统漏水。)
2.需考虑进水的硬度，如硬度较高，需首先对进水进行软化处理。
3.以纯化水为水源的系统，要求进水的TDS值需小于20PPM。化工行业中的高纯水主要应用于电池行溶剂用纯水、化学分析、化工材料、产品清洗、物质的分离、浓缩、提纯，废物回收等场合的用水，对于水质要求相对来说不是太高，纯水电导率从0.1uS/cm-20uS/cm就基本上能满足要求。我们公司可根据客户对水质的具体要求，采用反渗透，离子交换，EDI等超纯水生产工艺的不同组合，生产出即经济实用，又能满足客户要求的纯水设备。
超纯水传统的制备工艺通常是采用离子交换树脂进行制取，但采用离子交换树脂通常需要经常性的进行树脂再生，即耗费物力又浪费人工，我们公司经过多年实践，同时结合较新的膜分离技术，常采用反渗透加离子交换系统(或EDI)相结合用来制备超纯水，该工艺与传统工艺相比具有运行成本低的优点(离子交换器的再生周期延长)，运行可靠。与较新工艺相比具有造价低，耗材易得的优点。反渗透工艺技术，可靠。
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